具有良好的耐化學(xué)腐蝕性、耐高溫性、耐氧化型、耐候性、耐射線輻射性能強；具有較強的剛性，強度，精確的外形尺寸和嚴(yán)格的產(chǎn)品重量，長期使用不變形，不污染清洗液，槽內(nèi)表面光滑無毛裝載硅片晶圓時不劃傷硅片，能夠滿足晶圓硅片的生產(chǎn)工藝要求。